无尘室内着火需要使用特定的灭火器进行扑灭，常见的适用于无尘室的灭火器包括涂氟灭火器和二氧化碳灭火器。
涂氟灭火器具有速度快、恢复时间短等特点，适用于电子元器件等高负荷设备中发生的小型火灾。
而二氧化碳灭火器的灭火效果好，且不会对设备造成损害，适用于无尘室内电器、仪器等高价值设备的灭火。在选择具体的灭火器时，还需要考虑火灾的规模、物料种类等因素。
无尘室生产车间需要使用防静电，抗尘污的照明灯具。灯具应具有防爆、防尘、防腐和防静电等性能，并采用集中控制，减少无意间开关。
照明强度应合适，不宜过强或过弱，保证工作场所亮度适宜，使工人的工作环境得到改善，确保产品的质量和生产效率。
无尘室是一个隔离空气中的微小微粒和细菌的房间，因此在灭火时不能使用会扰乱无尘室气流的灭火器。
此类环境最适合使用气体灭火器，如二氧化碳灭火器或惰性气体灭火器。这些灭火器可以快速灭火而不会破坏无尘室的干净环境。
在使用这些灭火器时，人员应根据实际情况采取适当的措施，如确保安全撤离并避免呼吸灭火器喷射的有害气体。